ZERNIKE提供干涉儀平面標準鏡和球面標準鏡,平面標準鏡包含平面透射標準鏡和平面反射標準鏡。 有效口徑有150mm,100mm,60mm,30mm,標準鏡與Zygo 、富士通通用。
標準鏡技術參數
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?型號
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有效口徑
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材料
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精度 (λ=632.8nm)
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ZK-150-TF
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150mm
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熔石英 (Corning 7980)
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PV<λ/20
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ZK-100-RF
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100 mm
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熔石英 (Corning 7980)
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PV<λ/20
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ZK-60-RF
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60mm
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熔石英 (Corning 7980)
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PV<λ/20
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ZK-30-RF
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30mm
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熔石英 (Corning 7980)
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PV<λ/20
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