最新版軟件發布日期為 2020年11月06日

更新方法如下：

第一步 軟件更新前，請記錄下您的授權ID，以免升級覆蓋

如果您的授權ID 丟失，可以與我們聯系，為您重新生成。

第二步，卸載您當前的軟件版本

第三步，下載最新版的軟件，您可以通過聯系我們獲取軟件解壓密碼。

http://www.soubey.com/downloads/Zernike_2020_11_06.zip

第四步，安裝軟件，并將自己的授權ID 填寫進去

完成！

第一,??F4 快捷鍵?大小視圖相互切換? ?空格鍵 連續快速圖像抓取

F4快捷鍵 ： 圖像采集后，動態圖像自動顯示小圖，可以用F4快捷鍵切回大圖

空格鍵： 抓取圖像采用空格鍵，可以快速連續的抓圖，以獲得最好的干涉圖片

F3 快捷鍵： 范圍選擇完成后，按F3 可以快速縮放圖片，讓后續計算更加快速

第二，圓形 方形范圍快速選擇

利用鼠標，點擊拖動就可以快速選擇計算范圍

第三，靈活的掩摸功能，覆蓋或剔除無效區域

新增的改進掩摸功能，可以方便的剔除各種形狀、大小的無效區域，鼠標拖動選擇后，右鍵鼠標！

第四，新增計算歷史記錄，記錄下最近的10次計算，方便結果對比

第五：新增像散結果顯示

感謝您選擇使用ZERNIKE 干涉儀，未來我們會繼續努力，持續進步！?

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我們使用下面的圖片，它可以來自干涉儀的測量或者直接拍攝的照片，格式為 JPG or BMP。

通過打開按鈕導入圖片

有效的測量孔徑是 95%, 如果你想修改這個參數，請參考以下鏈接

http://www.soubey.com/en/technology/309-how-to-set-the-parameters-in-zernike.html

點擊分析按鈕

顯示頁面將會自動切花拿到波面顯示，這里你直接可以看到分析的結果?

ISO result: 3/ 0.24 / (0.19 / 0.16) 意味著光圈數 N is 0.24 局部光圈? delta N 是 0.19.?

PV = 0.196? 波面的波峰谷高低差是 0.196 wave.

rms = 0.041?代表面型的均方根.

我們增加了像散 Astig 的直接顯示，通過這個數值看到像散對整體系統的貢獻是 0.031 wave.

如果你移除了power?選項,PV?將會是局部光圈delta N 的 1/2 ,如果你進行的是球面測量，那么應該去掉 Power .

檢測報告上，你會看到同樣的結果

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如果您用的是澤尼克干涉儀,軟件默認是PAL模式。

如果您用的是美國ZYGO 或 日本富士 Fuji, 您應該選擇 NTSC 模式.

[video on]: 開啟視頻

[Calibration Switch]: 切換視頻信號源 AV1 to AV2 or AV2 to AV1.快捷鍵 [TAB]

[Capture Picture]: 圖像捕捉用于分析計算. 快捷鍵?[SPACE]

[Analysis]: 計算條紋并給出分析結果.? 快捷鍵?[ENTER]

切換視頻從右上角到適應屏幕. 快捷鍵?[F4]

縮放選擇的圖片范圍. 快捷鍵?[F3]

[打開] [保存] [視頻] [放大] [縮小]

視圖按鈕

[背景] [視圖自適應] [網格顯示] [顏色顯示] [投影視圖] [圖片旋轉]

視圖按鈕 2

[高低反向] [前視圖] [斜視圖]

澤尼克按鈕

[piston] [傾斜] [光焦] [像散] [慧差] [球差]

范圍選擇按鈕

[圓形] [橢圓] [方形] [多邊形]

圖片縮放

[圖片放大] [圖片縮小] [恢復原圖]

結果按鈕

[iso 結果] [pv 結果]

掩膜形狀

[圓形] [橢圓] [方形] [多邊形]

歷史記錄按鈕

[歷史記錄]

參數對話框

這里您可以輸入公司的名稱

如果你的干涉儀工作波長是氦氖激光，您可以輸入632.8nm

對于菲索干涉儀，請保持條紋的計算間隔為 0.5

您在這里可以直接輸入有效的口徑，例如95%，那么圖形選擇范圍上直接可以看到結果

這個結果依賴于ISO的選項，與ISO的結果一起顯示。

如下圖所示：

激光干涉儀是一種常用的測量儀器，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量，被廣泛用于多個行業中。

激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。

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影響激光干涉儀測量精度的主要因素：

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1. 激光頻率穩定性：在激光干涉儀中，將激光波長作為長度基準，激光頻率變化直接影響測量結果。

2. 大氣折射率。

3. 死程誤差：在零位時，激光干涉儀兩相干光的還有一段光程差，這一段光程差稱為死程。死程的變化會引起測量誤差，死程誤差是激光干涉儀的一項重要誤差。

4. 余弦誤差：在測定三坐標測量機的定位誤差時，需仔細調整，使光束與滑座的運動方向平等。

5. 脈沖當量誤差：激光干涉儀顯示的最小一個數所對應的量值稱為脈沖當量。

6. 細分誤差：在干涉條紋一個周期內，由插細分不均勻引起的誤差。

7. 阿貝誤差：為避免阿貝誤差，需將角隅棱鏡的頂點調整到所測的直線上，否則由于滑座的角運動誤差引起阿貝誤差。

1.跟使用的設備配套,

2.要跟打標要求配套，

3. 當然也要跟振鏡配套，那么在購買時就要根據下面幾方面做選擇?

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1. 需多長波長的場鏡？?

波長一般能跟機器配套就可以了，很多客戶并不了解自已的機器是多少波長。一般來講我們使用以下波第:?

非金屬機器, 使用CO2的場鏡，通常為10.6微米：F-Theta 掃描場鏡 CO2 10.6um

半導體機器，通常用來打標金屬材料，波長為1064nm：F-Theta 掃描場鏡 1064nm

激光內雕機，綠激光的機器，場鏡通常為532nm波長的：F-Theta 掃描場鏡 532nm

高精密激光打標機，波長為355nm：F-Theta 掃描場鏡 355nm?

2. 需多大大光斑的場鏡？?

通常，我們的打標機的振鏡為12mm光斑，選擇場鏡12mm就可以了。有些客戶用來做振鏡焊接機，焊接機的振鏡通常使用大光斑，如20mm，25mm，30mm.....等，那么我們就要選擇與設備配套。目前來講, 國內的振鏡式焊接機常會出現問題，主要原因是配用的場鏡光斑太小，很難找到大光斑場鏡， 而小光斑的場鏡在承受焊接機大功率的情況下，非常容易燒掉。?

3. 需多大幅面的場鏡？

很多客戶都希望買一個大幅面的場鏡，這樣能用的范圍就大，小產品適用，大產品也適用。但是客戶往往忘記了一個問題，場鏡的幅面越大，對應的場鏡焦距和工作距離就越大，那么激光能量損耗就越大，激光能量在空氣中衰減很厲害，也就是說，場鏡的焦距越大，打出來的線條就越粗，在材料表面就越淺。所以選場鏡的幅面合適打標的材料和線條要求就可以了，不能盲目追求大。?

4. 需多大焦距的場鏡？

在同樣幅面的情況下，由于各廠家對場鏡的設計和加工能力不同，常出現同樣幅面的場鏡，產生的焦距卻不相同。我們認為, 如果幅面相同，焦距應選擇越短越好。當然原于設計工藝不同，也不可能無限短就最好，我們就要追求一個盡量短一些就可以了，因為短焦距的場鏡打標越深，線條越細。?

5. 需配多大螺紋的場鏡？

我們知道，振鏡的下面就是接場鏡，那么使用的場鏡螺紋一定要適合所使用的振鏡。振鏡的螺紋一般有以下幾種M85*1，M82*1，M79*1，M58*1，M55*1.......等，最常見的是M85*1，進口SCANLAB的振鏡螺紋使用的接口為M79*1。萬一找不到對應的場鏡怎么辦？還有一個辦法可以解決，就是找一個螺紋轉換接口就可以了，通常制造打標機機柜的廠家都有這種接口。

干涉儀是非常精密的檢測儀器，應該了解在日常使用中的基本維護和保養，盡可能的保證干涉儀的測量精度，延長干涉儀的使用壽命。

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注意事項

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1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。

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2、在移動儀器時，為防止導軌變形，應托住底座再進行移動。

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3、儀器的光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發霉。

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4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。

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5、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。

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6、在使用時應避免強旋、硬扳等情況，合理恰當的調整部件。

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7、避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿，保持其不失油。

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日常維護

1、儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內，防止振動，儀器搬動 時，應托住底座，以防導軌變形。 　

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2、光學零件不用時，應存放在清潔的干燥盆內，以防止發霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和乙醚混合液輕拭。

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3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應用T5精密儀表油潤滑。

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4、使用時，各調整部位用力要適當，不要強旋、硬扳。

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5、導軌面絲桿應防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態。

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6、 經過精密調整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉動。

第1個是Newton Interferometer牛頓干涉儀

左邊的Quasimonochromatic point source是一個幾近單波長的點光源, Quasimonochromatic為單波長的意思, point source是點光源.
點光源經過透鏡變成平行光后, 打到下方橢圓形待測物上, 這個待測物可能為透鏡之類的物體, 待測物下方的平面Optical flat 則是參考面, 通常做為參考面的平整度, 也就是Surface irregularity, 必須要1/10λ以上, 分母愈大就表示其平整度愈好.

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第2個是邁克爾遜干涉儀Michelson Interferometer.

當邁克爾遜干涉儀和牛頓干涉儀做比較時, 會發現它并不是一個點光源, 光源有些散開, 光線在經過第一塊鏡片之后透過中間的分光鏡O, 使得一部分的光反射到反射鏡M2再反射回分光鏡O, 而一部份的光則穿透補償片C, 到達反射鏡M1之后才反射回分光鏡O合成同一道光, 并且將結果打到D(Detector)上, 因此我們就可以在Detector上看到一圈一圈的條紋, 也就是干涉圖A了. 所以邁克爾遜干涉儀通常用來測量距離的變化當我們要測量距離時, 只要先測量出原來的干涉條紋A之后, 再將反射鏡M2往后移, 測量出干涉條紋B, 然后就可以從條紋A~B的變化算出距離了.?

第3個是菲索干涉儀Fizeau Interferometer

菲索干涉儀是目前一般最常見的干涉儀, 也是架構最簡單, 測量最方便的一種.左上方的laser becm 激光光源, 激光光源是非常好的單波長光源, 經過中間的幾道程序之后, 在經過Reference flat 參考面時, 部份光被反射, 部份光則穿透至flat under fest待測面上后再反射回去, 因此我們看到的結果是參考面與待測面的差異, 當參考面不同時, 所測出的待測面條紋也會不同.這種干涉儀的缺點是: 容易受風向、震動、與空氣變化等的外力影響, 必須放在密閉室內的防震桌上, 才能清楚看到干涉條紋, 所以又稱為非共路徑干涉儀.

第4個是Mach-Zehnder 干涉儀

左下方的光源Extended source, 為一與邁克爾遜干涉儀相似的擴展光源, 光源經過第一個 Beam-splitter之后分為二道, 各別經過一片Mirror反射鏡, 再經過第二個Beam-splitter合成一道光之后, 將結果打到Detector上.因為中間分為二道光源的關系, 在空間及距離上可以做較大的調整, 所以比較適合測量體積大或穿透性大的物體, 例如: 我們可以用來測量大面積的玻璃.將待測物放在路徑上的第一個 Beam-splitter與Mirror反射鏡之間, 我們就可以看到路徑A、路徑B與待測物之間的差異.這也是一個非共路徑干涉儀, 它的缺點是: 容易受空氣變化等的外力影響,優點是: 可以測量體積或面積較大的物體.?

第5個是Twyman-Green 干涉儀

Twyman-Green 干涉儀和邁克爾遜干涉儀很相似.當一道光源進來, 經過BEAM EXPANDER將光源變得比較大束后, 經由中間的BEAMSPLITTER 分為二道光, 反射回來之后再回到偵測器,上每種干涉儀都有各自不同的應用范圍、方向和限制.?